193nm激光器準(zhǔn)分子加工系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介：

193nm激光器準(zhǔn)分子加工系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：
全部實現(xiàn)風(fēng)冷，無需水冷；
結(jié)構(gòu)緊湊，脈沖頻率高，Z高重復(fù)頻率到1kHz；
全新技術(shù)金屬-陶瓷腔體；
光束均勻性好
集成的真空泵和鹵素濾光片
激光頭體積<3L
提供能量穩(wěn)定模式，保證能量穩(wěn)定輸出；

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-11-07

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：5598

服務(wù)熱線

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

激光與量測

CODIXX高消光比偏振片動態(tài)干涉儀傳遞函數(shù)(MTF)測試系統(tǒng) 高精度焦點(diǎn)分析儀量子級聯(lián)激光器鏡頭及光學(xué)元件測試設(shè)備激光波長計氦氖激光器波前分析儀超快激光器氣體激光器連續(xù)激光器 YAG激光器固體激光器激光能量計探頭激光M2因子分析儀可調(diào)諧激光器激光光譜儀

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產(chǎn)品介紹

193nm激光器準(zhǔn)分子加工系統(tǒng)

193nm激光器準(zhǔn)分子加工系統(tǒng)產(chǎn)品外觀圖

典型的均勻光斑形貌

微加工系統(tǒng)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

全部實現(xiàn)風(fēng)冷，無需水冷；

結(jié)構(gòu)緊湊，脈沖頻率高，zui高重復(fù)頻率到1kHz；

全新技術(shù)金屬-陶瓷腔體；

光束均勻性好

集成的真空泵和鹵素濾光片

激光頭體積<3L

提供能量穩(wěn)定模式，保證能量穩(wěn)定輸出；

應(yīng)用：

微加工

激光融蝕

醫(yī)學(xué)（眼睛手術(shù)）

光譜

計量

光纖布拉格光柵刻寫

參數(shù)

ATLEX-300-I 參數(shù)

ATLEX-300-I 參數(shù)
氣體介質(zhì)	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF	單位
波長	157	193	248	308	351	nm
高壓開關(guān)技術(shù)	固態(tài)開關(guān)
zui大脈沖能量¹	1	10	15	8	7	mJ
zui大平均功率	0.2	2.4	4.0	2.0	1.7	W
zui大重復(fù)頻率	300					Hz
脈寬²	5-8					ns
光斑尺寸（V*H）	4*6					mm
光束發(fā)散角（V*H）	1*2					mrad
能量穩(wěn)定性	<3					%
尺寸（LWH）	540470370					mm
重量	60					kg
制冷	風(fēng)冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復(fù)頻率下測量，應(yīng)用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-500-I 參數(shù)

ATLEX-500-I 參數(shù)
氣體介質(zhì)	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF	單位
波長	157	193	248	308	351	nm
高壓開關(guān)技術(shù)	固態(tài)開關(guān)
zui大脈沖能量¹	1	10	15	8	7	mJ
zui大平均功率	0.5	4.0	6.5	3.0	2.5	W
zui大重復(fù)頻率	500					Hz
脈寬²	5-8					ns
光斑尺寸（V*H）	4*6					mm
光束發(fā)散角（V*H）	1*2					mrad
能量穩(wěn)定性	<3					%
尺寸（LWH）	540470370					mm
重量	60					kg
制冷	風(fēng)冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復(fù)頻率下測量，應(yīng)用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-1000-I 參數(shù)

ATLEX-1000-I 參數(shù)
氣體介質(zhì)	ArF	KrF	單位
波長	193	248	nm
高壓開關(guān)技術(shù)	固態(tài)開關(guān)
zui大脈沖能量¹	10	15	mJ
zui大平均功率	4.0	6.5	W
zui大重復(fù)頻率	1000		Hz
脈寬²	5-8		ns
光斑尺寸（V*H）	4*6		mm
光束發(fā)散角（V*H）	1*2		mrad
能量穩(wěn)定性	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
制冷	風(fēng)冷
供電要求	230 VAC/10A/1 phase/50-60Hz

在低重復(fù)頻率下測量，應(yīng)用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-300-FBG 參數(shù)

ATLEX-300-FBG 參數(shù)
氣體介質(zhì)	ArF	KrF	單位
波長	193	248	nm
高壓開關(guān)技術(shù)	固態(tài)開關(guān)
zui大脈沖能量¹	10	15	mJ
zui大平均功率	2.4	4.0	W
空間相關(guān)性(垂直方向)	>300	>300	um
zui大重復(fù)頻率	300		Hz
脈寬²	5-8		ns
光斑尺寸（V*H）	4*6		mm
光束發(fā)散角（V*H）	1*2		mrad
能量穩(wěn)定性	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
制冷	風(fēng)冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復(fù)頻率下測量，應(yīng)用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-500-FBG 參數(shù)

ATLEX-500-FBG 參數(shù)
氣體介質(zhì)	ArF	KrF	單位
波長	193	248	nm
高壓開關(guān)技術(shù)	固態(tài)開關(guān)
zui大脈沖能量¹	10	15	mJ
zui大平均功率	4.0	6.5	W
空間相關(guān)性(垂直方向)	>300	>300	um
zui大重復(fù)頻率	500		Hz
脈寬²	5-8		ns
光斑尺寸（V*H）	4*6		mm
光束發(fā)散角（V*H）	1*2		mrad
能量穩(wěn)定性	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
制冷	風(fēng)冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復(fù)頻率下測量，應(yīng)用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-LR 參數(shù)

ATLEX-LR 參數(shù)
氣體介質(zhì)	ArF	單位
波長	193	nm
zui大脈沖能量¹	12	mJ
zui大穩(wěn)定輸出能量	10	mJ
脈寬²	5	Ns
光斑尺寸（V*H）	4*6	mm
光束發(fā)散角（V*H）	1*2	mrad
能量穩(wěn)定性	<2	%
尺寸（LWH）	540470370	mm
重量	60	kg
制冷	風(fēng)冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz