單頻紫外激光器 IXION-193?SLM是單頻二管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學計量、高功率ArF準分子激光器的帶寬控制和193nm波長的步進校準。光譜帶寬接近理論傅立葉變換限。中心波長以0.01nm的度從190nm到194nm范圍可選。系統(tǒng)可選內置高精度光譜儀，度可達1pm以保證對激光器調諧的Z大控制。

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更新時間：2025-11-07

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單頻紫外激光器 IXION-193 SLM是單頻二管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學計量、高功率ArF準分子激光器的帶寬控制和193nm波長的步進校準。光譜帶寬接近理論傅立葉變換限。中心波長以0.01nm的度從190nm到194nm范圍可選。系統(tǒng)可選內置高精度光譜儀，度可達1pm以保證對激光器調諧的zui大控制。

單頻紫外激光器 IXION-193 SLM典型參數(shù)

型號	IXION-193 SLM
波長	193.368 nm
平均功率	>10 mW
脈寬	< 10 ns
脈沖能量	>1.6 µJ
重復頻率	6 kHz
M²因子	< 1.6
線寬	<120MHz;0.015pm; 0.004cm^-1
調諧范圍	>80GHz; 10pm;2.6cm^-1
相干長度	>1 m

單頻紫外激光器 IXION-193 SLM特點
· 工業(yè)級的頻率轉換，密封封裝
· 插槽安裝激光二管泵浦
· 優(yōu)異的TEM₀₀光束形貌
· 脈沖到脈沖之間波動小
· 免維護與熱電溫控管理
· LabVIEW驅動
· 內置光譜儀用于波長實時控制

單頻紫外激光器 IXION-193 SLM應用
· 193 nm波長計量
· 光譜儀校準
· 干涉測量
· 準分子激光器的種子注入
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM
光譜帶寬

脈沖寬度

長時間功率穩(wěn)定性

光束質量